2026年8月25日 15:00

NTT、AI駆動ラボで半導体素材の自律成膜に成功

3行まとめ

NTTは次世代パワー半導体材料として期待されるβ型酸化ガリウムの研究を進めている。従来材料より高耐圧・低損失な特性を持ち電力変換効率の向上が見込まれるが、高品質な結晶薄膜の作製には熟練技術者による条件の試行錯誤が必要で、開発の律速となっていた。

今回NTTは、AIとロボット技術を連携させた「解釈可能な自律成膜」技術を実証した。AIが成膜プロセスの条件を自律的に探索・最適化しつつ、判断根拠を人間が理解できる形で提示しながら実験を進める仕組みで、スパッタ法によるβ型酸化ガリウムの高品質な単結晶薄膜の作製に世界で初めて成功した。

実験プロセスの自動化・高速化が進めば、研究者の経験や勘に依存してきた条件探索の負担が軽減され、新材料の開発期間短縮につながる可能性がある。AIを研究開発の現場に組み込む「AI駆動型ラボ」の取り組みは、他の材料・製造分野への応用展開も期待される。

AIが実験条件を自律探索する「AI駆動型ラボ」の実証例で、材料開発の自動化・高速化に道を開く基礎研究。